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高二理化生11光电传感器工程实践课件

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光电传感器11 11光电传感器
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Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination * 光电式传感器 光电传感器是各种光电检测系统中实现光电转换 的关键元件,它是把光信号(红外、可见及紫外光辐 射)转变成为电信号的器件。 *光源(发光器件) 1、钨丝白炽灯 用钨丝通电加热作为光辐射源最为普通,一般白炽灯的辐射 光谱是连续的 发光范围:可见光外、大量红外线和紫外线,所以任何光敏元件 都能和它配合接收到光信号。 特点:寿命短而且发热大、效率低、动态特性差,但对接收光敏 元件的光谱特性要求不高,是可取之处。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 2、气体放电灯 定义:利用电流通过气体产生发光现象制成的灯。 气体放电灯的光谱是不连续的,光谱与气体的种类及 放电条件有关。改变气体的成分、压力、阴极材料和 放电电流大小,可得到主要在某一光谱范围的辐射。 3、发光二极管LED(Light Emitting Diode) 由半导体PN结构成,其工作电压低、响应速度快、寿 命长、体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。 4、激光器 具有高方向性、高单色性和高亮度三个重要特性。激 光波长从0.24μm到远红外整个光频波段范围。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination *光电效应 是指物体吸收了光能后转换为该物体中某些电子的能 量,从而产生的电效应。光电传感器的工作原理基于 光电效应。光电效应分为外光电效应和内光电效应两 大类 1、外光电效应 在光线的作用下,物体内的电子逸出物体表面向外 发射的现象称为外光电效应。向外发射的电子叫做光 电子。基于外光电效应的光电器件有光电管、光电倍 增管等。 光子是具有能量的粒子,每个光子的能量: E=hν h—普朗克常数,6.626×10-34J·s;ν—光的频率(s-1) Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 根据爱因斯坦假设,一个电子只能接受一个光子 的能量,所以要使一个电子从物体表面逸出,必 须使光子的能量大于该物体的表面逸出功,超过 部分的能量表现为逸出电子的动能。外光电效应 多发生于金属和金属氧化物,从光开始照射至金 属释放电子所需时间不超过10-9s。 根据能量守恒定理 式中 m—电子质量;v0—电子逸出速度。 该方程称为爱因斯坦光电效应方程。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination n光电子能否产生,取决于光电子的能量是否大于该物 体的表面电子逸出功A0。不同的物质具有不同的逸出功 ,即每一个物体都有一个对应的光频阈值,称为红限频 率或波长限。光线频率低于红限频率,光子能量不足以 使物体内的电子逸出,因而小于红限频率的入射光,光 强再大也不会产生光电子发射;反之,入射光频率高于 红限频率,即使光线微弱,也会有光电子射出。 n当入射光的频谱成分不变时,产生的光电流与光强成 正比。即光强愈大,意味着入射光子数目越多,逸出的 电子数也就越多。 n光电子逸出物体表面具有初始动能mv02 /2 ,因此外光 电效应器件(如光电管)即使没有加阳极电压,也会有 光电子产生。为了使光电流为零,必须加负的截止电压 ,而且截止电压与入射光的频率成正比。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 当光照射在物体上,使物体的电阻率ρ发生 变化,或产生光生电动势的现象叫做内光电效应 ,它多发生于半导体内。根据工作原理的不同, 内光电效应分为光电导效应和光生伏特效应两类 : (1) 光电导效应 在光线作用下,电子吸收光子能量从键合状 态过渡到自由状态,而引起材料电导率的变化, 这种现象被称为光电导效应。基于这种效应的光 电器件有光敏电阻。 2、内光电效应 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 过程:当光照射到半导体材料上时,价带中的电子受 到能量大于或等于禁带宽度的光子轰击,并使其由价 带越过禁带跃入导带,如图,使材料中导带内的电子 和价带内的空穴浓度增加,从而使电导率变大。 导带 价带 禁带 自由电子所占能带 不存在电子所占能带 价电子所占能带 Eg Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 材料的光导性能决定于禁带宽度,对于一种光 电导材料,总存在一个照射光波长限λ0,只有 波长小于λ0的光照射在光电导体上,才能产生 电子能级间的跃进,从而使光电导体的电导率 增加。 式中ν、λ分别为入射光的频率和波长。 为了实现能级的跃迁,入射光的能量必须大于光电导 材料的禁带宽度Eg,即 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (2) 光生伏特效应 在光线作用下能够使物体产生一定方向的 电动势的现象叫做光生伏特效应。 基于该效应的光电器件有光电池和光敏二极管、 三极管。 ①势垒效应(结光电效应)。 接触的半导体和PN结中,当光线照射其接 触区域时,便引起光电动势,这就是结光电效应 。以PN结为例,光线照射PN结时,设光子能量大于 禁带宽度Eg,使价带中的电子跃迁到导带,而产生电 子空穴对,在阻挡层内电场的作用下,被光激发的电 子移向N区外侧,被光激发的空穴移向P区外侧,从 而使P区带正电,N区带负电,形成光电动势。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination ②侧向光电效应。 当半导体光电器件受光照不均匀时,有载 流子浓度梯度将会产生侧向光电效应。当光照 部分吸收入射光子的能量产生电子空穴对时, 光照部分载流子浓度比未受光照部分的载流子 浓度大,就出现了载流子浓度梯度,因而载流 子就要扩散。如果电子迁移率比空穴大,那么 空穴的扩散不明显,则电子向未被光照部分扩 散,就造成光照射的部分带正电,未被光照射 部分带负电,光照部分与未被光照部分产生光 电动势。基于该效应的光电器件如半导体光电 位置敏感器件(PSD)。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 利用物质在光的照射下发射电子的外光电效应而制 成的光电器件,一般都是真空的或充气的光电器件, 如光电管和光电倍增管。 一、光电管及其基本特性 光电管的结构示意图 光 阳极 光电阴极 光窗 1. 结构与工作原理 光电管有真空光电管和充气 光电管或称电子光电管和离子光 电管两类。两者结构相似,如图 。它们由一个阴极和一个阳极构 成,并且密封在一只真空玻璃管 内。阴极装在玻璃管内壁上,其 上涂有光电发射材料。阳极通常 用金属丝弯曲成矩形或圆形,置 于玻璃管的中央。 * 外光电效应器件 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 光电器件的性能主要由伏安特性、光照特性、光谱 特性、响应时间、峰值探测率和温度特性来描述。 (1) 光电管的伏安特性 2. 主要性能 在一定的光照射 下,对光电器件的阴 极所加电压与阳极所 产生的电流之间的关 系称为光电管的伏安 特性。光电管的伏安 特性如图所示。它是 应用光电传感器参数 的主要依据。 图4.2-2 光电管的伏安特性 50 20μlm 40μlm 60μlm 80μlm 100μlm 120μlm 1001502000 2 4 6 8 10 12 阳极与末级倍增极间的电压/V IA/ μA Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (2) 光电管的光照特性 通常指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定 时,光通量与光电流之间的关系为光电管的光照特性 。其特性曲线如图所示。曲线1表示氧铯阴极光电 管的光照特性,光电 流I与光通量成线性关 系。曲线2为锑铯阴极 的光电管光照特性, 它成非线性关系。光 照特性曲线的斜率( 光电流与入射光光通 量之间比)称为光电 管的灵敏度。 光电管的光照特性 25 50 75 100 2 00.51.5 2.0 Φ/1m IA/ μA 1.02.5 1 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (3)光电管光谱特性 由于光阴极对光谱有选择性,因此光电管 对光谱也有选择性。保持光通量和阴极电压不 变,阳极电流与光波长之间的关系叫光电管的 光谱特性。一般对于光电阴极材料不同的光电管, 它们有不同的红限频率υ0,因此它们可用于不同的光 谱范围。除此之外,即使照射在阴极上的入射光的频 率高于红限频率υ0,并且强度相同,随着入射光频率 的不同,阴极发射的光电子的数量还会不同,即同一 光电管对于不同频率的光的灵敏度不同,这就是光电 管的光谱特性。所以,对各种不同波长区域的光,应 选用不同材料的光电阴极。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 国产GD-4型的光电管,阴极是用锑铯材料制成的。 其红限λ0=7000Å,它对可见光范围的入射光灵敏度比较 高,转换效率:25%~30%。它适用于白光光源,因而被 广泛地应用于各种光电式自动检测仪表中。对红外光源 ,常用银氧铯阴极,构成红外传感器。对紫外光源,常 用锑铯阴极和镁镉阴极。另外,锑钾钠铯阴极的光谱范 围较宽,为3000~8500Å,灵敏度也较高,与人的视觉光 谱特性很接近,是一种新型的光电阴极;但也有些光电 管的光谱特性和人的视觉光谱特性有很大差异,因而在 测量和控制技术中,这些光电管可以担负人眼所不能胜 任的工作,如坦克和装甲车的夜视镜等。 一般充气光电管当入射光频率大于8000Hz时,光电 流将有下降趋势,频率愈高,下降得愈多。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 二、光电倍增管及其基本特性 当入射光很微弱时,普通光电管产生的光电流很小 ,只有零点几μA,很不容易探测。这时常用光电倍增管 对电流进行放大,下图为其内部结构示意图。 1. 结构和工作原理 由光阴极、次阴极(倍增电极)以及阳极三部分组成。光阴极是由半 导体光电材料锑铯做成;次阴极是在镍或铜-铍的衬底上涂上锑铯 材料而形成的,次阴极多的可达30级;阳极是最后用来收集电子 入射光 光电阴极 第一倍增极 阳极 第三倍增极 的,收集到的电子数是阴极 发射电子数的105~106倍。即 光电倍增管的放大倍数可达 几万倍到几百万倍。光电倍 增管的灵敏度就比普通光电 管高几万倍到几百万倍。因 此在很微弱的光照时,它就 能产生很大的光电流。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (1)倍增系数M 倍增系数M等于n个倍增电极的二 次电子发射系数δ的乘积。如果n个倍增电极的δ都相同 ,则M= 因此,阳极电流 I 为 I = i · i —光电阴极的光电流 光电倍增管的电流放大倍数β为 β= I / i = M与所加电压有关,M在105~108之间,稳定性为1%左 右,加速电压稳定性要在0.1%以内。如果有波动,倍 增系数也要波动,因此M具有一定的统计涨落。一般 阳极和阴极之间的电压为1000~2500V,两个相邻的倍 增电极的电位差为50~100V。对所加电压越稳越好,这 样可以减小统计涨落,从而减小测量误差。 2. 主要参数 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 103 104 105 106 255075100125 极间电压/V 放大倍数 光电倍增管的特性曲线 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (2)光电阴极灵敏度和光电倍增管总灵敏度 一个光子在阴极上能够打出的平均电子数 叫做光电倍增管的阴极灵敏度。而一个光子在 阳极上产生的平均电子数叫做光电倍增管的总 灵敏度。 光电倍增管的最大灵敏度可达10A/lm,极 间电压越高,灵敏度越高;但极间电压也不能 太高,太高反而会使阳极电流不稳。 另外,由于光电倍增管的灵敏度很高,所 以不能受强光照射,否则将会损坏。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (3)暗电流和本底脉冲 一般在使用光电倍增管时,必须把管子放 在暗室里避光使用,使其只对入射光起作用; 但是由于环境温度、热辐射和其它因素的影响 ,即使没有光信号输入,加上电压后阳极仍有 电流,这种电流称为暗电流,这是热发射所致 或场致发射造成的,这种暗电流通常可以用补 偿电路消除。 如果光电倍增管与闪烁体放在一处,在完全蔽 光情况下,出现的电流称为本底电流,其值大 于暗电流。增加的部分是宇宙射线对闪烁体的 照射而使其激发,被激发的闪烁体照射在光电 倍增管上而造成的,本底电流具有脉冲形式。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 光电 倍增 管的 光照 特性 与直线最大 偏离是3% 10-13 10-10 10-9 10-7 10-5 10-3 10-1 在45mA 处饱和 10-1410-1010-6 10-2 光通量/1m 阳 极 电 流 / A (4)光电倍增管的光谱特性 光谱特性反应了光电倍增管的阳极输出电流与照射 在光电阴极上的光通量之间的函数关系。对于较好的 管子,在很宽的光通量范围之内,这个关系是线性的 ,即入射光通量小于10-4lm时,有较好的线性关系。光 通量大,开始出现非线性,如图所示。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 利用物质在光的照射下电导性能改变或产生电动势的光电 器件称内光电效应器件,常见的有光敏电阻光电池和光敏晶体管 等。 一、光敏电阻 光敏电阻又称光导管,为纯电阻元件,其工作原理是基于光 电导效应,其阻值随光照增强而减小。 光电导效应是指半导体材料受到光照时会产生电子-空穴对,使 其导电性能增强,光线愈强,阻值愈低,这种光照后电阻率发生变化 的现象,称为光电导效应。基于这种效应的光电器件有光敏电阻、 光敏二极管、光敏三极管。 优点:灵敏度高,光谱响应范围宽,体积小、重量轻、机械 强度高,耐冲击、耐振动、抗过载能力强和寿命长等。 不足:需要外部电源,有电流时会发热。 * 内光电效应器件 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 1. 光敏电阻的工作原理和结构 当光照射到光电导体上时,若光电导体为本征半导 体材料,而且光辐射能量又足够强,光导材料价带上的 电子将激发到导带上去,从而使导带的电子和价带的空 穴增加,致使光导体的电导率变大。为实现能级的跃迁 ,入射光的能量必须大于光导体材料的禁带宽度Eg,即 hν= = ≥Eg(eV) 式中ν和λ—入射光的频率和波长。 一种光电导体,存在一个照射光的波长限λC,只有 波长小于λC的光照射在光电导体上,才能产生电子在能 级间的跃迁,从而使光电导体电导率增加。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 光敏电阻的结构如图所示。管芯是一块安装在绝缘 衬底上带有两个欧姆接触电极的光电导体。光导体吸收 光子而产生的光电效应,只限于光照的表面薄层,虽然 产生的载流子也有少数扩散到内部去,但扩散深度有 A 金属封装的硫化镉光敏电阻结构图 光导电材料 绝缘衬低 引线 电极 引线 光电导体 限,因此光电导体一 般都做成薄层。为了 获得高的灵敏度,光 敏电阻的电极一般采 用硫状图案,结构见 下图。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 1--光导层; 2--玻璃窗口; 3--金属外壳; 4--电极; 5--陶瓷基座; 6--黑色绝缘玻璃; 7--电阻引线。 RG 123 4 5 6 7 (a)结构 (b)电极 (c)符号 它是在一定的掩模下向光电导薄膜上蒸镀金或 铟等金属形成的。这种硫状电极,由于在间距 很近的电极之间有可能采用大的灵敏面积,所 以提高了光敏电阻的灵敏度。图(c)是光敏电 阻的代表符号。 CdS光敏电阻的结构和符号 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 光敏电阻的灵敏度易受湿度的影响,因此要将导 光电导体严密封装在玻璃壳体中。如果把光敏电阻连 接到外电路中,在外加电压的作用下,用光照射就能 改变电路中电流的大小,其连线电路如图所示。 光敏电阻具有很高的灵敏度,很好的光谱特性, 光谱响应可从紫外区到红外区范围内。而且体积小、 重量轻、性能稳定、价格便宜,因此应用比较广泛。 RG RL E I Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination 2. 光敏电阻的主要参数和基本特性 (1)暗电阻、亮电阻、光电流 暗电流:光敏电阻在室温条件下,全暗(无光照射) 后经过一定时间测量的电阻值,称为暗电阻。此时在 给定电压下流过的电流。 亮电流:光敏电阻在某一光照下的阻值,称为该光照 下的亮电阻。此时流过的电流。 光电流:亮电流与暗电流之差。 光敏电阻的暗电阻越大,而亮电阻越小则性能越好 。也就是说,暗电流越小,光电流越大,这样的光敏电 阻的灵敏度越高。 实用的光敏电阻的暗电阻往往超过1MΩ,甚至高达 100MΩ,而亮电阻则在几kΩ以下,暗电阻与亮电阻之 比在102~106之间,可见光敏电阻的灵敏度很高。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (2)光照特性 下图表示CdS光敏电阻的光照特性。在一定外加电压下 ,光敏电阻的光电流和光通量之间的关系。不同类型 光敏电阻光照特性不同,但光照特性曲线均呈非线性 。因此它不宜作定量检测元件,这是光敏电阻的不足 之处。一般在自动控制系统中用作光电开关。 0 1 2 3 4 5 I/mA L/lx 10002000 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (3)光谱特性 光谱特性与光敏电阻的材料有关。从图中可知,硫化 铅光敏电阻在较宽的光谱范围内均有较高的灵敏度,峰 值在红外区域;硫化镉、硒化镉的峰值在可见光区域。 因此,在选用光敏电阻时,应把光敏电阻的材料和光源 的种类结合起来考虑,才能获得满意的效果。 20 40 60 80 100 4080120160200240 λ/μm 312相 对 灵 敏 度 1——硫化镉 2——硒化镉 3——硫化铅 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (4) 伏安特性 在一定照度下,加在光敏电阻两端的电压与电流之 间的关系称为伏安特性。图中曲线1、2分别表示照度 为零及照度为某值时的伏安特性。由曲线可知,在给 定偏压下,光照度较大,光电流也越大。在一定的光照 度下,所加的电压越大,光电流越大,而且无饱和现 50 100 150 200 1 2 U/V 0 2040 象。但是电压不能无限地 增大,因为任何光敏电阻 都受额定功率、最高工作 电压和额定电流的限制。 超过最高工作电压和最大 额定电流,可能导致光敏 电阻永久性损坏。 I/ μA Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (5)频率特性 当光敏电阻受到脉冲光照射时,光电流要经过一段时间 才能达到稳定值,而在停止光照后,光电流也不立刻为 零,这就是光敏电阻的时延特性。由于不同材料的光敏 , 20 40 60 80 100 I / % f / Hz 0 10102103104 电阻时延特性不同,所以 它们的频率特性也不同, 如图。硫化铅的使用频率 比硫化镉高得多,但多数 光敏电阻的时延都比较大 ,所以,它不能用在要求 快速响应的场合。 硫化铅 硫化镉 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (6)稳定性 图中曲线1、2分别表示两种型号CdS光敏电阻的稳 定性。初制成的光敏电阻,由于体内机构工作不稳定 ,以及电阻体与其介质的作用还没有达到平衡,所以 性能是不够稳定的。但在人为地加温、光照及加负载 情况下,经一至二周的老化,性能可达稳定。光敏电 阻在开始一段时间的老化过程中,有些样品阻值上 I / % 40 80 120 160 2 1 T/h 0400 800 1200 1600 升,有些样品阻值下降,但 最后达到一个稳定值后就不 再变了。这就是光敏电阻的 主要优点。 光敏电阻的使用寿命在 密封良好、使用合理的情况 下,几乎是无限长的。 Cooperate with the group company to carry out luggage, cargo leakage, leakage, wrong installation, wrong unloading special rectification work, the introduction of the company's special treatment program, and self-examination (7)温度特性 其性能(灵敏度、暗电阻)受温度的影响较大。随着温 度的升高,其暗电阻和灵敏度下降,光谱特性曲线的 峰值向波长短的方向移动。硫化镉的光电流I和温度T 的关系如图所示。有时为了提高灵敏度,或为了能够 接收较长波段的辐射,将元件降温使用。例如,可利 用制冷器使光敏电阻的温度降低。 I / μA 100 150 200 -50-1030 5010-30T / ºC 20 40 60 80 100 01.02.03.04.0 λ/μm I/mA +20 ºC -20 ºC Cooperate with the 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