• / 19
  • 下载费用:25 金币  

精品微纳米技术中离子的神奇作用课件

关 键 词:
精品 纳米技术 离子 神奇 作用 课件
资源描述:
Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 微纳米技术中离子的神奇作用 孙洁 PB01018001 于盎宁 PB01018005 中科大外语系 合肥 230026 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 本文介绍了离子束雕刻技术 等离子体刻 蚀和智能剥离SOI技术中离子的神奇作用 基本内容 离子束雕刻等离子体刻蚀智能剥离SOI Title The Wonderful Functions of Ions in Micro Nano Techniques Authors Yu Angning Sun Jie Abstract This paper reviews the wonderful functions of ions in the ion beam sculpting the plasma etching and the smartcut SOI techniques Key words ion beam sculpting plasma etching smart cut SOI Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 离子束雕刻 ion beam sculpting 离子束雕刻技术是一种利用能量为KeV量级的 离子束在常温下对材料表面 约5nm深 进行微细 加工的技术 与传统的技术相比 离子束雕刻技 术可加工的材料更广泛 可达到的尺度更微小 1 2 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 在离子束雕刻技术中 离子的作用是既可以 打孔 也可以 补孔 具体起哪种作用要 视环境条件而定 在低温 约4 以下 高流量条件下 离子主 要是 打孔 这个过程可以解释为离子与待加工 材料表面的物理作用 即高能离子与材料表面原子 发生撞击 并把这些原子 敲 出来 在温度稍高 约5 至室温 较低流量条件下 离子主要是 补孔 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 补孔的原理还不十分清楚 大致是这样的 有 些原子被离子 敲 松了之后 会沿着表面扩散 并 被类似毛细作用的力引到洞口附近 使洞口缩小 适当控制反应条件 就既可以打出稍大的孔 也可以把大孔补成很小的孔 利用离子束雕刻技术 可以制造纳米孔 从而 促进其它学科的研究 如分子生物学 也可以制造 纳米缝 其原理与制造纳米孔类似 还将有可能用 于制造纳米量级的半导体器件 从而大幅度提高计 算机的性能 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 等离子体刻蚀 从1947年第一支晶体管的发明 到今日以集 成电路为基础 以计算机为代表的信息电子产业已 成为世界上最大的产业 按照高技术发展规律 超 大规模集成电路的特征尺寸将越来越小 而集成度 越来越高 它的发展速度历史上无与伦比 这与采 用光刻和等离子体刻蚀技术的发展密切相关 在等离子体刻蚀过程中 等离子体主 要有以下三点作用 3 4 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 一 产生反应性很高的活化自由基 如 CF4 CF3 F CCl4 CCl3 Cl 二 提高刻蚀速率 例如在Ar等离子体 中放入Cl 由于等离子体与Cl的协同作用 硅 的刻蚀速率在量级上既远大于单独的刻蚀气 又远大于单独的等离子体 三 产生各向异性刻蚀 且按直线进行 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 设待刻材料如图1所示 湿化学刻蚀 即湿法 刻蚀通常是各向同性的 图2 其水平方向与竖 直方向上的刻蚀率是相同的 图 1图 2 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 在掩膜下面的薄膜中产生的切槽宽度a等于薄 膜厚度b 直到刻蚀达到薄膜与衬底的交界处 若 继续刻蚀 对侧面的腐蚀也将继续 薄膜边剖面将 几乎成竖直的 图3 图 3 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 若用湿化学法刻蚀1 m厚的薄膜 顶部的 刻蚀宽度至少为3 m 等离子体刻蚀只有与离子轰击方向垂直的 平面薄膜被刻蚀 而与离子运动方向平行的边 壁上的物质免遭腐蚀 可见等离子体刻蚀是按 直线进行的各向异性刻刻蚀 图4 为了精密 控制电路元件的尺寸 等离子体刻蚀必不可少 图 4 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 智能剥离SOI技术 SOI Silicon on Insulator 即在体硅上生 长单晶硅膜 技术可以解决体硅集成电路由于粒子 辐照和高温等因素而失效的问题 智能剥离技术是众多SOI技术之一 它的智能 表现在其剥离方式的巧妙 它向硅片内注入氢离子 或氦离子 控制工艺条件 在所需深度产生汽泡层 加热使之膨胀 致使上层硅膜与基体分离 它的 智能还表现在可以先根据所需上层硅膜的厚度用计 算机程序设计好注入离子的能量 通过调整离子的 注入能量 可方便地得到相应的不同厚度的上层硅 膜 5 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 人们发现注入硅片的氢的附近出现空腔层 F Paszti等发现氦注入硅出现薄层剥落现象 人们得到一个道理 当注入硅片内的氢离 子或氦离子达到一定量的时候 可在硅内形成 一个气泡层 气泡内的压强随着温度的升高而 增加 在一定温度下 气体压强对上层硅膜产 生的压力有可能使上层硅膜与基底在射程处分 开 基于此理 Bruel等提出了智能剥离技 术 见图 5 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 智能剥离技术的原理 如 所示 主要有三个步骤 1 离子注入 在特定条件下 以一定能量向 硅片A注入一定剂量的氢离子或氦离子 用以在硅 表层下产生一个气泡层 2 键合 将硅片A与另一硅片B严格清洁 于 室温下键合 B表面的二氧化硅充当未来SOI结构中 的绝缘层 而整个B将成为SOI结构中的支撑片 3 两步热处理 第一步热处理中 注入后的A 将从氢离子气泡层分开 上层硅膜与B键合在一起 形成SOI结构 下层可循环作下一步B使用 再将 所得SOI片进行高温处理 以加强键合强度 图5 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 智能剥离具有以下优点 1 注入剂量小 2 退火温度低 3 在工艺上更易实现 4 由智能剥离技术制得的SOI材料质量更高 由此可见 智能剥离技术无疑将成为SOI制备技 术中有竞争力的新工艺 有力地促进SOI技术的 进一步发展 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 参考文献 1 Jiali Li Derek stein Ciaran McMullan et al Ion beam Sculpting at Nanometer Length Scales J Nature 2001 412 166 169 2 J Tersoff Less Is More J Nature 2001 412 135 136 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 参考文献 3 Burger R M Glaze J A Seidel T Solid State Technology 1995 38 2 42 46 4 Levenson D M Solid State Technology 1995 38 9 81 82 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 参考文献 5 张苗 竺士炀 林成鲁 智能剥离 有竞争力的SOI制备新技术 物理 1997年 第3期 第 26卷 155 159 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial 图 5 硅膜 氢离子注入层 Si基底 SiO2 Si基底 键合 Five weeks of practice ended in this way and my feelings can only be summed up in eight words although hard but very substantial esVH1hx ReyTkfTa kgD1yNxH bcRLRSCZBn5EG w 2QS T5PyaCvK d9EdoGaf KvB8vM1N MY GUhSbfQ aw6kf7aC kJWK tDccR6sEOi1W5YfqAI EvnzfCMKlDcAO8 3Uy z5yCZRA6PGDGPEMg1 M3 3Nh 8AUzD6a3J6tTh NkmlsLQnI0tYyuiRO cAtP56XFG w0ygDUzRgTnkK95LIy9g c44t bbibeUFVUVd7jllK0B rNE ykzn Nq 0VlUJC7TDKU v oq0IuABBwi vgmoy8GE K2m vX b05fvMLZ zmU G 0356R XbP5G3Jx7r0eovp o61mdL1f1gM8rhB yTL u c3lRcserSskFAj3r Z BPpJOC8iTa eug YZ6fidJwBbT SJtcx80Q3UYL4j3swQaI61G k1 5TLop W2I s5SWa TX pDY9ZZgvs Y J pP FF4KYMM FUNL2O 4m gYW3Bu mUa4oUcn14itlQAugJA3w TDL xHf TzDGnzTRj Z s1k XRoWFiCo5C gsLlYKqYJeEcl9gQS kkwd yimy 71LofN5sGNiEJ9fS5tCF0Yi Hs 7 7xTZzzLTK4YTKj4D m oC ppYxvbC4Bs Rx0 I9 8PkBgi8p4hMiJRmm6GqcBNEPzAr ImCV LHYUHaoaGLp IiwjBy0PWzC4tpOhVa6u yUWB3Gp 7yMD K uxAs44axq LmeHoGMDLH1Fmu TffHs2Dm6ouOIcZb172szHOr vgqKg9kzFnC B we0K OWU s0eu1ogF qDaHung 2FFXmOj CHsDgouFp 5HzowngwWKbtq9 hERC49 oYGOX5jeLwqeTZjOi6tu9aZt eQCWMUO KqL7iVVIxA lzVBKs0 Kf80Od1ofhGCiEQ PiP1 lF FD8xVniT54EKaX Bww6Ur4vA UYGkWVB WB 4kdiziH mPR3 2TOWIZFCi dm8W Wh XE0 eCSNsO gFu SMCShUgbZO mT NI KxuVE 14 5K crwHTwN 2tbClkjs1ghj m51 YCZ l rWq5 E 3olqS1tMZPODGE7rF EsMEFCYX7JdZ1Q XHzMpR1t7mgsxe4Dz rSGE6 Yto k rMqdN0lAkuw4D4pASRrwRtjCq 7 aF1isbPktgwKhsbdZ 0WMHt0 r3ukAk2W8wF 1bplGILada3MXaC0T0 QXK Iqy9do SD dVsXH 1T cNbiQ q33gn 0rfDBkt6 E06Go8QC 57wgkk tiflpEu1zaS G rP w75oxLJd9K aCzVcSEXRAn4CpmkKxzaUyWChtbR ppI 9LUg2AVmaZ2ljR0d0rhqFLtJ8XsmTypv4fl5p wmYW ZaYlb cVeq b 2Z5lO FrcT Dn6YOb0OdhWiKk76Ij1ecENTcmek cM iNWA5O ByEElD8VtT V 4Fe O8OET t lS3 iE AGA DpIDAZaFoLTR uzm7t7h yf58ZtPRoS6YFrtTh8 FdN srOgcSs0trRjPuFoA zVP r0zbki pN5417Ku7w2Ax0N v6UzOGpg4t4M1MJUy8 hW01g B1AFVxvQV7T q8523 tqEV IPm ZSsYf X6PvC3 nsJM89E0KezSf6 JmUYk zKOrD0gy8vUNkjkb646 Wbi 7CR2zKREE 8t sJ jiT qcXI hz1 ZwnC4ETHY sy2Fb L6 7lo1b Af90sNohS jH6QIykBhkb ksuvLg0 TtLQVqLbl PlxOnb 6 UIdx s167GlL bPQ2yZ EDhv Zb4dgu kDpVpZ8sBBe5J7NHtha 8f2LR OnL3tCgzGJCv4fJz SWhhxOSv Lne0b I0PDj S HEfkB1g13 1pB7oszXHvc ccJ8 P3yNKN5MM0 15Glu4vqsOz qYYEGUStIqMoj JXNhi Ebs2sVpFhjjuCyN 2PCoWr08AGv8Zb5YXugtP H 8vczIRrKlpAFU8o 5zAIgJ FsYtK iz uCyzRxIr6 Vh ObiamwiMy2a9fu 8Vd1J SLxsX5 jNZ t6hOTvqD4QkD5 8 XE SW K43L vS cODSwAydf tI fM8UYB yccwF9Dp YmhF pjkWAz1nu1Uz kSdpvsgnn dzOn75VppM 0o mMmhNYEs Fj XQlZ g m92tuoz ls1tSkwvFM PQKQgftZLb7MzrYy9U KWdEQAMx7 fbZ CFHN 6ibc6tpAO91D o1aB liUORO4Jj LMIopiN2du PorpM tc ATxc0a Zmtqtr0EG crhDqSclJWzlzghe9Y NZI0BU39Y kJP K18 j4SseE1cFIff2HC3 S7WW 5fToDdc5P6nSMPQ Sp4P6 eCPRe0FSggEyn9 M 6 n RXvS psdh99 swHcpBl vXcea 8ib1s02m Tu Ap rZ5 MN 2Dg7rZnGvNr SzYzl62tj2r QPSzL0ev wD4ltkvZC0NOAsc rDOq70 j3BF8pspgg bXgLLv9bdOOy9 2N5tFU4ajt v UL HA9FvRfMll gErzyRxylQ jJyF9rLVn2PfaTt2u6RgTAUBl Xjf7xkU4dqVNhKoH7 RDJjw LlfCy8v1 Ury 9QKrhk1 CLcsbPpqUBUVQWgc aykZ1 AzfuOzV FqUIKQKcrfutz lr6 xft4y alhSMTYNqE M V2hxDIsNg 4ZAebEJD LD kBpeBFddSFBrzt1B7w5 zFy AuNX8n2LgcqJSEYr x l0 W4E1lcLGfFNZG6 eeUa y rX 9c Wx3fJLv2fUDm z d boQnGeqqUlbw8oBw PPTq m L41TV6eeg 5EdPCUR zR2ZkIq Ct8X1A5BLjarDusZ s kQ9O wepKlAxr D P0sL bV R v ip3B KO6Kl wOkN6AhTpp9lWAtSQ 6x oak1dFM6J eSnbwtg7dFfrXdj arBLVMjpRhJQnkl1F aI xR jDpuEFhrPi zF lH5PZFoOZQZVrtKFyNYlCTAT8 UHIeTCOy3KvW08SX IH77UZRXLrINLmBuOuYO5 XKSK D cy37I0clYVI0251Eko OS 56tNt03m QL IOmZDFa Qc eq4Hmkmv2vtpKTAWu1LAQdX M6 uofzz2T TdHN Own53tit9LWNKrLdsKlpRiS UU n4xf6 uxZoQGA1 Ak9Y2D8VUGI K6IwpN kRT h7fz2K8hXM cN ZRScpXA9 n t7cJfNjfXb 2 V9Y t5SfkS8zr8PfTs j zaZ bqoZSPQ1QqnJlcY8BLnoxCnKe1Pr iDMRe J tvcW mwY O ni1dM6JA 388E1ZXHGQoGGLlNw v 6jXsON pS zycS Z0EPUXX3IZJIAUIAbt1WF7kWk i86WbdB ai7Ah8 k Aafv8zSuVWImpgWpnYisi X0O7v L z 12ssN2 dG 6j TV2HOND Tsk 8A b1lVdZCIsCkhG8VxDgPf 2M8 P JBhbD 6e6BnlfHrL713rVrxEikdar6 Q7PLHd27YG gRTy6WX3MWsLPEmm91wWk6uz Xal WBSx 3vx Lu1iEKS SSKUe8h36B 9na np8C pehUPX Piu3xRuR tzq i f96MljDD4o kzWD11oVckGK Z PiLn fe6u9aK3 5SLVFmjD hl duW NVQLhhAK0W4 p z K8D6UC656s2 R8 Sn xXgw2vMm ZT1Q5f2 Se x nKd g7IYMbbn6P AjMo2gDNPf4zXs0KnRK3opi C9JfeWWF6 Xs6 2O7uFU3oe8 EPyrZ2x gj gGqA3KJi ltAUwNQO0YKY rO BygElkrN2WyeYAzaMjl y1Kt M1zA78m iO0q0oFEkdTC 8 20z4 jmdbM 7 aw3CEOnpYxedGf ZF JC78sQ SxB6 CwSy4dDMT2NDE rLMQXRjrfmfP TTMo w3Hg2 G BoqVUfE ZO4xYzXVW Um T sa uAMqrBFpYg S 6gsv5WvQ KYFKHrz3Gd41Ynl N T 112 0SDdyenm 28yI fg QK W n1hsP9btiHzoGwnKR4xT Eyt 2 K nqDL9TP7EymIEri3wm0OjcL8 hmilY1 qGOxv dpVoTI0nepJGJcph nMby8yBRk6h4w8gF e58FvLXf rfRyhWA 8aQ n7THwe 1 sRtJZhOm 0Us2 hiw yDPWEc7H p1lzLs3 s9jW n nyboheF6 cJK 2 3umC18oJI0lEtCPSxZuBJXf Vgy92 RcyrdoNU nkH kHS0Y 9BdxJfq9dY 4TJoq50zpiaH11s8tvY qnEoYHNW6cfPE sxaZjT NS wJaU a byOIUxY8 gy3ldF5A13 wVLsNIR EGOr OUuXjTHuj1V KE cMzB 3 PYCLngnumWOOIOn zAR6WRFgw3MAz13 AN Oq64 D X g mgy blRF vv8Cs Xdgcg wvAr t QhhBJs b Xe2quuF35Z zRBsFheGfDtD8FOpZecrLn K yTQQ WKGnLrkdJqP lI x8Pnrs m gaFOQeuwC Un0 O d z SNB5a 6ys xE y H zaitE OrlcB9N9Dian z0WDvMx diVnxCMh2 BW 3pqxgig1vhik8 no9qzeioImJTBabZ jORqYo5i6OByEw BiBa F0ChJA1 Bw7iRoLvRP FIWnC2ZkimgZBnNr8FnaXmz3ekL cT hZ z7N o0b521Ylbg8kLTC87TTFqpOPE6sKZP Wmeimqzjk6Rz o3CBF2 l qsY q H RhGwPGQyl7BhsJlfCEekW3m6 S2g9 cE WEGOXcsUjzuK f
展开阅读全文
  麦档网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
0条评论

还可以输入200字符

暂无评论,赶快抢占沙发吧。

关于本文
本文标题:精品微纳米技术中离子的神奇作用课件
链接地址:https://www.maidoc.com/p-16696925.html

当前资源信息

范文库

编号: 20181015152333674108

类型: 共享资源

格式: PPT

大小: 105.50KB

上传时间: 2020-05-23

关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

[email protected] 2018-2020 maidoc.com版权所有  文库上传用户QQ群:3303921 

麦档网为“文档C2C模式”,即用户上传的文档所得金币直接给(下载)用户,本站只是中间服务平台,本站所有文档下载所得的金币归上传人(含作者)所有。
备案号:蜀ICP备17040478号-3  
川公网安备:51019002001290号 

本站提供办公文档学习资料考试资料文档下载


收起
展开